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Verdunstung und Sputter-Materialien

Dec 19, 2016


Angewandte Industrie Andamp; Produkte


Kategorie-Einstufung


Das Hauptziel

Keramik

Durchführung von Ziele transparent

Elektromaterialien AZO, HAZO, GZO, ZnO, BZO

Keramische Werkstoffe Nb2Ox, TiOx, SiO2, CdS, Al2O3, SnO2, ZnS, WC


Legierung

Das Ziel Aluminiumlegierung AlNd, AlCu, AlTi, CrAl, TiCrAl, AlNd

Kupfer Legierung CuGa, CuIn, CuInGa, CuNi, CuZn

Nickel-Legierung NiCr, NiV, NiCu

Zink-Legierung ZnSn, ZnAl

Andere Legierungen MoNb, SiAl, InSn, MoTa, TiSi


Rotation

Die zusammengesetzten Targetmaterialien AZO, Nb2Ox, TiOx, SiAl, ZnSn, ZnAl, AlNd, MoNb, MoTa

Si, Cr, elementare Al, Mo, Nb, Sn, SUS, Cu, Ti

Metall-Zielebene Si und Al, Cr, Mo, Ti, Nb, Zn, SS, Sn, Ni, Ta, Cu

Verdampfte Materialpartikel ITO Slug, Ti Slug, Ni slug